Work function controllability of metal gates made by interdiffusing metal stacks with low and high work functions

T. Matsukawa, Y. X. Liu, M. Masahara, K. Ishii, K. Endo, H. Yamauchi, E. Sugimata, H. Takashima, T. Higashino, E. Suzuki, S. Kanemaru

研究成果: Conference article査読

11 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Work function controllability of metal gates made by interdiffusing metal stacks with low and high work functions」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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