Waveguide-mode interference lithography technique for high contrast subwavelength structures in the visible region

Kanta Kusaka, Hiroyuki Kurosawa, Seigo Ohno, Yozaburo Sakaki, Kazuyuki Nakayama, Yuto Moritake, Teruya Ishihara

研究成果: Article査読

11 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Waveguide-mode interference lithography technique for high contrast subwavelength structures in the visible region」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Physics & Astronomy