Wafer-to-wafer transfer process of barium strontium titanate for frequency tuning applications using laser pre-irradiation

Tetuo Samoto, Hideki Hirano, Toshihiro Somekawa, Kousuke Hikichi, Masayuki Fujita, Masayoshi Esashi, Shuji Tanaka

研究成果: Article査読

3 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント 「Wafer-to-wafer transfer process of barium strontium titanate for frequency tuning applications using laser pre-irradiation」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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