Vertical integration of array-type miniature interferometers at wafer level by using multistack anodic bonding

Wei Shan Wang, Maik Wiemer, Joerg Froemel, Tom Enderlein, Thomas Gessner, Justine Lullin, Sylwester Bargiel, Nicolas Passilly, Jorge Albero, Christophe Gorecki

研究成果: Conference contribution

2 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Vertical integration of array-type miniature interferometers at wafer level by using multistack anodic bonding」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Mathematics

Physics & Astronomy

Engineering & Materials Science

Chemical Compounds