Vertex Channel Array Transistor (VCAT) featuring sub-60nm high performance and highly manufacturable trench capacitor DRAM

M. Kito, R. Katsumata, M. Kondo, S. Ito, K. Miyano, M. Kido, H. Yasutake, Y. Nagata, N. Aoki, H. Aochi, Akihiro Nitayama

研究成果: Conference article査読

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フィンガープリント

「Vertex Channel Array Transistor (VCAT) featuring sub-60nm high performance and highly manufacturable trench capacitor DRAM」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science