Vapor-liquid-solid-like growth of thin film SiC by nanoscale alternating deposition of SiC and NiSi2

Naoki Sannodo, Asuka Osumi, Shingo Maruyama, Yuji Matsumoto

研究成果: Article査読

1 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Vapor-liquid-solid-like growth of thin film SiC by nanoscale alternating deposition of SiC and NiSi<sub>2</sub>」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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