Ultrahigh vacuum system for atomic-scale planarization of 6 inch Si(001) substrate

Ken Idota, Masaaki Niwa, Isao Sumita

研究成果: Article査読

フィンガープリント

「Ultrahigh vacuum system for atomic-scale planarization of 6 inch Si(001) substrate」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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