Two-dimensional analysis of carrier distribution in phosphorus-implanted emitter and phosphorus-diffused emitter using super-higher-order scanning nonlinear dielectric microscopy

Kotaro Hirose, Katsuto Tanahashi, Hidetaka Takato, Norimichi Chinone, Yasuo Cho

研究成果: Conference contribution

1 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Two-dimensional analysis of carrier distribution in phosphorus-implanted emitter and phosphorus-diffused emitter using super-higher-order scanning nonlinear dielectric microscopy」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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