Tunable vertical comb for driving micromirror realized by bending device wafer

Minoru Sasaki, Masahiro Ishimori, Jonghyeong Song, Kazuhiro Hane

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抄録

An electrostatically driven micromirror is described. The vertical comb of a three-dimensional microstructure is realized by bending the device wafer having microstructures. By resetting the bending angle, the tuning of the vertical gap between moving and stationary combs is possible. The characteristics of the vertical comb drive actuator can be tuned, confirming the performance.

本文言語English
ページ(範囲)147-148
ページ数2
ジャーナルIEICE Transactions on Electronics
E90-C
1
DOI
出版ステータスPublished - 2007 1月

ASJC Scopus subject areas

  • 電子材料、光学材料、および磁性材料
  • 電子工学および電気工学

フィンガープリント

「Tunable vertical comb for driving micromirror realized by bending device wafer」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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