Trend of MEMS (Micro ElectroMechanical Systems)

Masayoshi Esashi

研究成果: Article査読

1 被引用数 (Scopus)
本文言語English
ページ(範囲)733-738
ページ数6
ジャーナルShinku/Journal of the Vacuum Society of Japan
45
10
DOI
出版ステータスPublished - 2002 1

ASJC Scopus subject areas

  • 凝縮系物理学
  • 表面、皮膜および薄膜
  • 電子工学および電気工学

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