Transport mechanism of interfacial network forming atoms during silicon oxidation

Hiroyuki Kageshima, Masahi Uematsu, Kazuto Akagi, Shinji Tsuneyuki, Toru Akiyama, Kenji Shiraishi

研究成果: Article査読

15 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Transport mechanism of interfacial network forming atoms during silicon oxidation」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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