Transparent anatase and rutile TiO2 films grown by laser chemical vapor deposition

Akihiko Ito, Takahiro Sato, Takashi Goto

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抄録

Transparent single-crystal TiO2 films were grown on (001) SrTiO3 substrate by laser chemical vapor deposition. (001) anatase, (101) anatase, and (110) rutile TiO2 films were epitaxially grown at 1230, 1448, and 1500 K, respectively. The in-plane epitaxial orientation relations were [100] anatase TiO2//[100] SrTiO3 in the (001) anatase TiO2//(001) SrTiO3 film, [010] anatase TiO2//[100] SrTiO3 in the (101) anatase TiO 2//(001) SrTiO3 film, and [001] rutile TiO 2//[100] SrTiO3 in the (110) rutile//(001) SrTiO 3 film. The TiO2 films were highly transparent at the visible to near-infrared range. A high transmittance of 98% was observed for the (001) anatase TiO2 film at a wavelength of 800 nm.

本文言語English
ページ(範囲)37-41
ページ数5
ジャーナルThin Solid Films
551
DOI
出版ステータスPublished - 2014 1月 31

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  • 電子材料、光学材料、および磁性材料
  • 表面および界面
  • 表面、皮膜および薄膜
  • 金属および合金
  • 材料化学

フィンガープリント

「Transparent anatase and rutile TiO2 films grown by laser chemical vapor deposition」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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