Transmission type position sensor made on thin Si film

Sasaki Minoru, Takebe Hitoshi, Hane Kazuhiro

研究成果: Article査読

本文言語English
ページ(範囲)538-539
ページ数2
ジャーナルIEEJ Transactions on Sensors and Micromachines
118
11
DOI
出版ステータスPublished - 1998

ASJC Scopus subject areas

  • 機械工学
  • 電子工学および電気工学

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