Total Dry Electron-Beam Vacuum Lithography System for a Rotary Encoder

Yoshiyuki Uchida, Keiji Matsui, Masatoshi Sago, Kazuhiro Hane, Shinzo Morita, Shuzo Hattori

研究成果: Article査読

本文言語English
ページ(範囲)391-394
ページ数4
ジャーナルShinku/Journal of the Vacuum Society of Japan
30
5
DOI
出版ステータスPublished - 1987 1月
外部発表はい

ASJC Scopus subject areas

  • 凝縮系物理学
  • 表面、皮膜および薄膜
  • 電子工学および電気工学

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