Three-Dimensional Numerical Analysis Method of Ion Beam Extraction from Plasma Ion Source

Yoichi Ose, Toshiyuki Takagi, Kazuyoshi Miki

研究成果: Article査読

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本文言語English
ページ(範囲)323-330
ページ数8
ジャーナルIEEJ Transactions on Fundamentals and Materials
107
7
DOI
出版ステータスPublished - 1987
外部発表はい

ASJC Scopus subject areas

  • 電子工学および電気工学

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