Thin Films on Silicon

Simo Eränen, Pekka Törmä, Pilar Gonzalez, Xavier Rottenberg, Riikka L. Puurunen, Matti Putkonen, Andreas Vogl, Frode Tyholdt, Hannah Tofteberg, Paul Muralt, Parmanand Sharma, Akihisa Inoue

研究成果: Chapter

5 被引用数 (Scopus)
本文言語English
ホスト出版物のタイトルHandbook of Silicon Based MEMS Materials and Technologies
ホスト出版物のサブタイトルSecond Edition
出版社Elsevier Inc.
ページ124-205
ページ数82
ISBN(電子版)9780323312233
ISBN(印刷版)9780323299657
DOI
出版ステータスPublished - 2015 1 1

ASJC Scopus subject areas

  • 工学(全般)

引用スタイル