Thickness measurements on transparent substrates based on reflection ellipsometry. I. Optical effects of high-refractive-index additional layers

Soichi Otsuki, Koji Ohta, Kaoru Tamada, Shin Ichi Wakida

研究成果: Article査読

6 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Thickness measurements on transparent substrates based on reflection ellipsometry. I. Optical effects of high-refractive-index additional layers」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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