Thermodynamic analysis for the chemical vapour deposition of non-stoichiometric titanium carbides

Takashl Goto, Chorn Cherng Jiang, Toshio Hirai

研究成果: Article査読

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フィンガープリント

「Thermodynamic analysis for the chemical vapour deposition of non-stoichiometric titanium carbides」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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Chemical Compounds