The polishing effect of zno thin films on saw filters

Michio Kadota, Chikashi Kondo, Toshiaki Ikeda, Tohru Kasanami

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抄録

SAW filters in a structure of ZnO lDT glass, have periodic convex and concave roughness on the surface of ZnO thin films which is caused by lDT electrodes. This investigation reports that the convex and concave roughness affects the SAW velocity, and mechanical polishing of the ZnO thin films has great effect on SAW filter frequency characteristics.

本文言語English
ページ(範囲)159-161
ページ数3
ジャーナルJapanese journal of applied physics
29
DOI
出版ステータスPublished - 1990 1月
外部発表はい

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「The polishing effect of zno thin films on saw filters」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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