The optimization of sawtooth gratings using RCWA and its fabrication on a slanted silicon substrate by fast atom beam etching

Chabum Lee, Kazuhiro Hane, Sunkyu Lee

研究成果: Article査読

16 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント 「The optimization of sawtooth gratings using RCWA and its fabrication on a slanted silicon substrate by fast atom beam etching」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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