The impact of Ge codoping on grown-in O precipitates in Ga-doped Czochralski-silicon

Mukannan Arivanandhan, Raira Gotoh, Kozo Fujiwara, Tetsuo Ozawa, Yasuhiro Hayakawa, Satoshi Uda

研究成果: Article査読

3 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「The impact of Ge codoping on grown-in O precipitates in Ga-doped Czochralski-silicon」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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Chemical Compounds