Synthesis of titanium carbonitride films by physical vapour deposition and their structure

Yuji Enomoto, Kazushi Yamanaka

研究成果: Article査読

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フィンガープリント 「Synthesis of titanium carbonitride films by physical vapour deposition and their structure」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。