Synthesis of titanium carbonitride films by physical vapour deposition and their structure

Yuji Enomoto, Kazushi Yamanaka

研究成果: Article査読

13 被引用数 (Scopus)
本文言語English
ページ(範囲)L201-L203
ジャーナルThin Solid Films
86
1
DOI
出版ステータスPublished - 1981 11 27

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  • 電子材料、光学材料、および磁性材料
  • 表面および界面
  • 表面、皮膜および薄膜
  • 金属および合金
  • 材料化学

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