Surface passivation of GaAs using ArF excimer laser in a H2S gas ambient

N. Yoshida, S. Chichibu, T. Akane, M. Totsuka, H. Uji, S. Matsumoto, H. Higuchi

研究成果: Article査読

11 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Surface passivation of GaAs using ArF excimer laser in a H<sub>2</sub>S gas ambient」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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