Suitable passivation thickness on a metal line to prevent electromigration damage

Yasuhiro Kimura, Hiroto Ikadai, Teruki Nakakura, Masumi Saka

研究成果: Article査読

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フィンガープリント 「Suitable passivation thickness on a metal line to prevent electromigration damage」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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