Structure quality in deep X-ray lithography applying commercial polyimide-based masks

Sven Achenbach, Martin Boerner, Seichin Kinuta, Walter Bacher, Juergen Mohr, Volker Saile, Yasunori Saotome

研究成果: Article査読

12 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Structure quality in deep X-ray lithography applying commercial polyimide-based masks」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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