Structural analysis of threading dislocations in AlN thin films

Y. Tokumoto, N. Shibata, T. Mizoguchi, T. Yamamoto, Y. Ikuhara

    研究成果: Article査読

    1 被引用数 (Scopus)
    本文言語English
    ページ(範囲)258-259
    ページ数2
    ジャーナルMicroscopy and Microanalysis
    14
    SUPPL. 2
    DOI
    出版ステータスPublished - 2008 8 1

    ASJC Scopus subject areas

    • 器械工学

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