Stability of Si impurity in high-κ oxides

Naoto Umezawa, Kenji Shiraishi, Toyohiro Chikyow

研究成果: Article査読

フィンガープリント 「Stability of Si impurity in high-κ oxides」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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