Specific structural factors influencing on reliability of CVD-HfO2

Yoshinao Harada, Masaaki Niwa, Sungjoo Lee, Dim Lee Kwong

研究成果: Paper査読

26 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Specific structural factors influencing on reliability of CVD-HfO<sub>2</sub>」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science

Chemical Compounds