SOft Magretic Properties of Fe-N and Fe-Si-N Thin Films Sputtered in (Ar+N2) Plasma

M. Takahashi, H. Shoji, T. Shimatsu, H. Komaba, T. Wakiyama

研究成果: Article査読

17 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント 「SOft Magretic Properties of Fe-N and Fe-Si-N Thin Films Sputtered in (Ar+N2) Plasma」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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