Smoothing sidewalls of a MEMS-based silicon X-ray optics

Teppei Moriyama, Yuichiro Ezoe, Tomohiro Ogawa, Takaya Ohashi, Ikuyuki Mitsuishi, Makoto Mita, Kazuhisa Mitsuda, Yoshiaki Kanamori, Akio Maeda

研究成果: Conference contribution

1 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント 「Smoothing sidewalls of a MEMS-based silicon X-ray optics」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Chemical Compounds

Engineering & Materials Science