Single crystalline AlN film formed by direct nitridation of sapphire using aluminum oxynitride buffer

Wataru Nakao, Hiroyuki Fukuyama

研究成果: Article査読

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フィンガープリント

「Single crystalline AlN film formed by direct nitridation of sapphire using aluminum oxynitride buffer」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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