Simultaneous formation of a metallic Mn layer and a MnOx/ MnSixOy barrier layer by chemical vapor deposition at 250°C

Atsuko Kurokawa, Yuji Sutou, Junichi Koike, Tatsufumi Hamada, Kenji Matsumoto, Hiroyuki Nagai, Kaoru Maekawa, Hiroki Kanato

研究成果: Article査読

9 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Simultaneous formation of a metallic Mn layer and a MnO<sub>x</sub>/ MnSi<sub>x</sub>O<sub>y</sub> barrier layer by chemical vapor deposition at 250°C」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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