Silicon carbide surface micromachining technology by tetramethylsilane- based atmospheric vapor deposition

Y. Hatakeyama, Masayoshi Esashi, S. Tanaka

研究成果: Conference article査読

フィンガープリント

「Silicon carbide surface micromachining technology by tetramethylsilane- based atmospheric vapor deposition」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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