SiC-SiC temporary bonding compatible with rapid thermal annealing at 1000 °c

Fengwen Mu, Tadatomo Suga, Miyuki Uomoto, Takehito Shimatsu, Kenichi Iguchi, Haruo Nakazawa

研究成果: Conference contribution

フィンガープリント

「SiC-SiC temporary bonding compatible with rapid thermal annealing at 1000 °c」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering

Physics

Material Science