Si nanofabrication using AFM field enhanced oxidation and anisotropic wet chemical etching

K. Morimoto, K. Araki, K. Yamashita, K. Monta, M. Niwa

研究成果: Article査読

40 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Si nanofabrication using AFM field enhanced oxidation and anisotropic wet chemical etching」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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