Scanning nonlinear dielectric microscopy observation of accumulated charges in metal-SiO2-SiN-SiO2-Si flash memory by detecting higher-order nonlinear permittivity

Koichiro Honda, Yasuo Cho

研究成果: Article査読

3 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Scanning nonlinear dielectric microscopy observation of accumulated charges in metal-SiO<sub>2</sub>-SiN-SiO<sub>2</sub>-Si flash memory by detecting higher-order nonlinear permittivity」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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