Roughness reduction in polycrystalline silicon thin films formed by continuous-wave laser lateral crystallization with Cap SiO2 thin films

Shuntaro Fujii, Shin Ichiro Kuroki, Masayuki Numata, Koji Kotani, Takashi Ito

研究成果: Article査読

8 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Roughness reduction in polycrystalline silicon thin films formed by continuous-wave laser lateral crystallization with Cap SiO<sub>2</sub> thin films」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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