Reliability characteristics of W-La2O3 structures compared with those of HfO2-based gate oxides

J. Molina, F. J. De La Hidalga, P. Rosales, K. Kakushima, P. Ahmet, K. Tsutsui, N. Sugii, T. Hattori, H. Iwai

研究成果: Conference contribution

1 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Reliability characteristics of W-La2O3 structures compared with those of HfO2-based gate oxides」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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