Reduction of x-ray irradiation-induced pattern displacement of sin membranes using H+ion implantation technique

Kinya Ashikaga, Shinji Tsuboi, Yoshio Yamashita, Tsuneaki Ohta, Syuichi Noda, Masanori Kasai, Hiroshi Hoga

研究成果: Article査読

フィンガープリント

「Reduction of x-ray irradiation-induced pattern displacement of sin membranes using H<sup>+</sup>ion implantation technique」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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