Rapid chemical vapour-deposition of Si3N4

Toshio Hirai, Koichi Niihara, Takashi Goto

研究成果: Letter査読

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本文言語English
ページ(範囲)631-632
ページ数2
ジャーナルJournal of Materials Science
12
3
DOI
出版ステータスPublished - 1977 3 1

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  • 材料科学(全般)
  • 材料力学
  • 機械工学

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