Quantitative evaluation of bonding energy for the interfaces in Cu metallization systems

Shoji Kamiya, Shigeori Suzuki, Kiichiro Yamanobe, Masumi Saka

研究成果: Article査読

12 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Quantitative evaluation of bonding energy for the interfaces in Cu metallization systems」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Physics & Astronomy