Pulse-time-modulated ECR plasma discharge for highly selective, highly anisotropic and charge-free etching

Seiji Samukawa, Hiroto Ohtake, Tetsu Mieno

研究成果: Chapter

フィンガープリント

「Pulse-time-modulated ECR plasma discharge for highly selective, highly anisotropic and charge-free etching」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science