Pulse mode effects on crystallization temperature of titanium dioxide films in pulse magnetron sputtering

Takahira Miyagi, Masayuki Kamei, Tomoyuki Ogawa, Takefumi Mitsuhashi, Atsushi Yamazaki, Tetsuya Sato

研究成果: Conference article査読

31 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Pulse mode effects on crystallization temperature of titanium dioxide films in pulse magnetron sputtering」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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