Properties of zinc oxide films deposited by a radio-frequency magnetron mode electron cyclotron resonance sputtering system

Michio Kadota, Makoto Minakata

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フィンガープリント

「Properties of zinc oxide films deposited by a radio-frequency magnetron mode electron cyclotron resonance sputtering system」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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