Production of a large-diameter uniform plasma by modified magnetron-typed radio frequency discharge

Yunlong Li, Satoru Iizuka, Noriyoshi Sato

研究成果: Article査読

10 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Production of a large-diameter uniform plasma by modified magnetron-typed radio frequency discharge」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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