Preparation of ZrO2-Y2O3 films by CVD using β-diketone metal chelates

Masanobu Aizawa, Chihiro Kobayashi, Hisanori Yamane, Toshio Hirai

研究成果: Article査読

5 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント 「Preparation of ZrO<sub>2</sub>-Y<sub>2</sub>O<sub>3</sub> films by CVD using β-diketone metal chelates」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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