Preparation of SiB4±x and SiB6 plates by chemical vapour deposition of SiCl4 + B2H6 system

Masakazu Mukaida, Takashi Goto, Toshio Hirai

研究成果: Article査読

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フィンガープリント

「Preparation of SiB4±x and SiB6 plates by chemical vapour deposition of SiCl4 + B2H6 system」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science

Chemical Compounds