Preparation of Magnéli phases of Ti27O52 and Ti6O11 films by laser chemical vapor deposition

Rong Tu, Guangsheng Huo, Teiichi Kimura, Takashi Goto

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抄録

Magnéli phases of Ti27O52 and Ti 6O11 films were prepared by laser chemical vapor deposition using Ti(dpm)2(O-i-Pr)2 as a precursor. Ti 6O11 film was obtained at a laser power (PL) of 200 W and a deposition temperature (Tdep) of 1270 K. Ti 27O52 film was obtained at PL = 150 to 200 W and Tdep = 1120 to 1250 K. Ti6O11 and Ti 27O52 films had a faceted texture about 2 μm in grain size and a columnar cross section. The deposition rate of Ti27O 52 and Ti6O11 films were 90 and 70 μm h - 1, respectively.

本文言語English
ページ(範囲)6927-6932
ページ数6
ジャーナルThin Solid Films
518
23
DOI
出版ステータスPublished - 2010 9月 30

ASJC Scopus subject areas

  • 電子材料、光学材料、および磁性材料
  • 表面および界面
  • 表面、皮膜および薄膜
  • 金属および合金
  • 材料化学

フィンガープリント

「Preparation of Magnéli phases of Ti27O52 and Ti6O11 films by laser chemical vapor deposition」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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