Preparation of epitaxial AlN films by electron cyclotron resonance plasma-assisted chemical vapor deposition on Ir- and Pt-coated sapphire substrates

Wei Zhang, Roberto Vargas, Takashi Goto, Yoshihiro Someno, Toshio Hirai

研究成果: Article査読

35 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント 「Preparation of epitaxial AlN films by electron cyclotron resonance plasma-assisted chemical vapor deposition on Ir- and Pt-coated sapphire substrates」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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